Keramický povlak z karbidu kremíka

Vetek Semiconductor Keramický povlak z karbidu kremíkaje vysokovýkonný ochranný povlak vyrobený z extrémne tvrdého a opotrebovaniu odolného materiálu karbidu kremíka (SiC), ktorý poskytuje vynikajúcu chemickú odolnosť proti korózii a vysokú teplotnú stabilitu. Tieto vlastnosti sú rozhodujúce pri výrobe polovodičov, takže keramický povlak z karbidu kremíka je široko používaný na kľúčových komponentoch zariadení na výrobu polovodičov.

Špecifická úloha, ktorú Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating pri výrobe polovodičov zohrávanasledovne:

Zvýšte životnosť zariadenia: Keramický povlak z karbidu kremíka poskytuje vynikajúcu povrchovú ochranu pre zariadenia na výrobu polovodičov s extrémne vysokou tvrdosťou a odolnosťou proti opotrebeniu. Najmä vo vysokoteplotných, vysoko korozívnych procesných prostrediach, ako je chemické vylučovanie z pár (CVD) a plazmové leptanie, môže keramický povlak z karbidu kremíka účinne zabrániť poškodeniu povrchu zariadenia v dôsledku chemickej erózie alebo fyzického opotrebovania, čím sa výrazne predlžuje životnosť zariadenia. zariadenia a zníženie prestojov spôsobených častou výmenou a údržbou.

Zlepšite čistotu procesu: V procese výroby polovodičov môže akákoľvek drobná kontaminácia spôsobiť chyby produktu. Chemická inertnosť keramického povlaku z karbidu kremíka umožňuje, aby zostal stabilný v extrémnych podmienkach, zabránil materiálu v uvoľňovaní častíc alebo nečistôt a zabezpečil čistotu prostredia počas procesu. Toto je obzvlášť dôležité pre výrobné kroky, ktoré vyžadujú vysokú presnosť a vysokú čistotu, ako je PECVD a iónová implantácia.

Optimalizujte tepelný manažment: Pri vysokoteplotnom spracovaní polovodičov, ako je rýchle tepelné spracovanie (RTP) a oxidačné procesy, vysoká tepelná vodivosť keramického povlaku z karbidu kremíka umožňuje rovnomerné rozloženie teploty vo vnútri zariadenia. To pomáha znižovať tepelné namáhanie a deformáciu materiálu spôsobenú kolísaním teploty, čím sa zlepšuje presnosť a konzistencia výroby produktu.

Podpora komplexného procesného prostredia: V procesoch, ktoré si vyžadujú komplexnú kontrolu atmosféry, ako sú procesy leptania ICP a PSS, stabilita a odolnosť ohrievača keramického povlaku z karbidu kremíka zaisťujú stabilný výkon zariadenia v dlhodobej prevádzke, čím sa znižuje riziko degradácie materiálu alebo zariadenia. škody spôsobené zmenami prostredia.

Vetek Semiconductorsa zameriava na výrobu a dodávanie vysokovýkonných produktovKeramický povlak z karbidu kremíkaa je odhodlaná poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel.Úprimne dúfame, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Základné fyzikálne vlastnostiKeramický povlak z karbidu kremíka:

VeTek Semiconductor Keramický povlak z karbidu kremíka:

Prehľad priemyselného reťazca epitaxie polovodičových čipov: