Grafitový ohrievač Hot Zone

Grafitové ohrievače VeTek Semiconductor Hot Zone sú navrhnuté tak, aby zvládli extrémne podmienky, ktoré sa vyskytujú vo vysokoteplotných peciach. Ohrievače sú schopné odolať drsnému prostrediu, ktoré sa bežne vyskytuje pri vysokoteplotnom spracovaní, v závislosti od špecifických vlastností produktu uvedených nižšie.

Rovnomerné rozloženie teploty: Grafitový ohrievač Hot Zone je známy svojimi vynikajúcimi rovnomernými vykurovacími charakteristikami vďaka dokonalej kombinácii vysoko presného výberu materiálu a precíznej technológie spracovania. Takáto rovnomernosť zaisťuje plynulé rozloženie teploty po celej vykurovacej ploche, čím sa účinne znižuje nerovnomerné spracovanie plátkov v dôsledku teplotných gradientov, čím sa zlepšuje výťažnosť produktu a konzistentnosť výkonu zariadenia.

Vynikajúca odolnosť proti korózii: grafitový ohrievač pre horúcu zónu vykazuje silnú odolnosť voči rôznym korozívnym plynom a chemikáliám, ktoré sa vyskytujú pri vysokoteplotných výrobných procesoch polovodičov. Prirodzená inertnosť grafitových materiálov umožňuje grafitovým ohrievačom udržiavať dlhodobú stabilitu v drsnom prostredí, čím sa výrazne znižuje riziko kontaminácie a predlžuje sa životnosť zariadenia.

Vynikajúci antioxidačný výkon: V porovnaní s tradičnými grafitovými materiálmi má grafitový ohrievač Hot Zone stále vynikajúcu antioxidačnú schopnosť pri vysokých teplotách. Táto vlastnosť je rozhodujúca, aby sa zabránilo oxidačnému znehodnoteniu povrchu ohrievača počas vysokoteplotného spracovania a zabránilo sa vytváraniu kontaminácie časticami v spracovacej komore, čím sa zabezpečí nepretržitá efektívna prevádzka zariadenia.

Ultra vysoká chemická čistota: Po prísnom spracovaní dosiahol náš grafitový ohrievač extrémne vysokú úroveň chemickej čistoty, čím účinne zabraňuje vnášaniu škodlivých nečistôt do prostredia spracovania polovodičov. Táto čistota je rozhodujúca pre ochranu integrity presných polovodičových materiálov a výrobu zariadení, ktoré spĺňajú očakávané elektrické a optické vlastnosti.

Vysoká mechanická pevnosť a stabilita: Grafitový ohrievač VeTekSemi Hot Zone má vynikajúcu mechanickú pevnosť a rozmerovú stabilitu, pričom zachováva štrukturálnu integritu aj pri prevádzkových podmienkach pri vysokých teplotách. Či už čelia častým tepelným cyklom alebo silnému mechanickému namáhaniu, grafitové ohrievače pre horúcu zónu si zachovávajú svoju robustnosť a poskytujú pevnú a spoľahlivú podporu pre drsné prostredia spracovania polovodičov.

Okrem toho VeTeksemi ponúka aj množstvo vlastných veľkostí a konfigurácií grafitových ohrievačov, aby vyhovovali potrebám rôznych procesov výroby polovodičov. ako naprsic keramický povlak grafitohrievač、Ohrievač VEECO MOCVD, atď.  VeTek Semiconductor sa zaväzuje poskytovať pokročilé a prispôsobiteľné riešenia technológií a produktov pre polovodičový priemysel. Úprimne dúfame, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.