VeTek Semiconductor sa špecializuje na výrobu ultračistých produktov s povlakom z karbidu kremíka, tieto povlaky sú určené na aplikáciu na čistený grafit, keramiku a žiaruvzdorné kovové komponenty.
Naše vysoko čisté nátery sú primárne určené na použitie v polovodičovom a elektronickom priemysle. Slúžia ako ochranná vrstva pre doštičkové nosiče, susceptory a vyhrievacie prvky a chránia ich pred korozívnym a reaktívnym prostredím, ktoré sa vyskytuje v procesoch ako MOCVD a EPI. Tieto procesy sú neoddeliteľnou súčasťou spracovania plátkov a výroby zariadení. Okrem toho sú naše nátery vhodné pre aplikácie vo vákuových peciach a ohrev vzoriek, kde sa stretávame s vysokým vákuom, reaktívnym a kyslíkovým prostredím.
Vo VeTek Semiconductor ponúkame komplexné riešenie s našimi pokročilými možnosťami strojárskej dielne. To nám umožňuje vyrábať základné komponenty s použitím grafitu, keramiky alebo žiaruvzdorných kovov a nanášať keramické povlaky SiC alebo TaC vo vlastnej réžii. Poskytujeme tiež lakovacie služby pre diely dodané zákazníkom, čím zaisťujeme flexibilitu pri splnení rôznych potrieb.
Naše produkty s povlakom z karbidu kremíka sa široko používajú v epitaxii Si, epitaxii SiC, systéme MOCVD, procese RTP / RTA, procese leptania, procese leptania ICP / PSS, procese rôznych typov LED vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED atď., Ktoré sú prispôsobené zariadeniam od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI atď.
Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Kryštálová štruktúra | FCC β fáza polykryštalická, hlavne (111) orientovaná |
Hustota | 3,21 g/cm³ |
Tvrdosť | Tvrdosť 2500 Vickers (záťaž 500g) |
Veľkosť zrna | 2 ~ 10 μm |
Chemická čistota | 99,99995 % |
Tepelná kapacita | 640 J·kg-1·K-1 |
Teplota sublimácie | 2700 ℃ |
Pevnosť v ohybe | 415 MPa RT 4-bod |
Youngov modul | Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃ |
Tepelná vodivosť | 300W·m-1·K-1 |
Tepelná expanzia (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Oblátka potiahnutá CVD SiC Držiak valca je kľúčovou súčasťou epitaxnej rastovej pece, ktorá sa široko používa v MOCVD epitaxných rastových peciach. VeTek Semiconductor vám poskytuje vysoko prispôsobené produkty. Bez ohľadu na to, aké sú vaše potreby pre držiak valca s povlakom CVD SiC, vitajte a poraďte sa s nami.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor CVD SiC povlakový valčekový susceptor je základnou súčasťou valcovej epitaxnej pece. Pomocou CVD SiC povlakového valcového susceptora sa výrazne zlepšilo množstvo a kvalita epitaxiálneho rastu. VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ SiC povlaku Barrel Susceptor a je na poprednej úrovni v Číne a dokonca aj vo svete. VeTek Semiconductor sa teší na nadviazanie úzkej spolupráce s vami v polovodičovom priemysle.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor CVD SiC povlaková doska Epi susceptor je nepostrádateľným komponentom pre rast epitaxie SiC, ktorý ponúka vynikajúce tepelné riadenie, chemickú odolnosť a rozmerovú stabilitu. Výberom CVD SiC povlakového plátku Epi susceptora VeTek Semiconductor zlepšíte výkon svojich procesov MOCVD, čo povedie k vyššej kvalite produktov a vyššej efektívnosti vo vašich operáciách výroby polovodičov. Vítame vaše ďalšie otázky.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor CVD SiC povlak grafitový susceptor je jednou z dôležitých komponentov v polovodičovom priemysle, ako je epitaxný rast a spracovanie plátkov. Používa sa v MOCVD a iných zariadeniach na podporu spracovania a manipulácie s plátkami a inými vysoko presnými materiálmi. VeTek Semiconductor má popredné čínske výrobné kapacity na výrobu a výrobu grafitových susceptorov potiahnutých SiC a grafitových susceptorov potiahnutých TaC a teší sa na vašu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopytCVD SiC povlak Ohrievací prvok hrá kľúčovú úlohu pri zahrievaní materiálov v PVD peci (odparovanie). VeTek Semiconductor je popredný výrobca vykurovacích telies potiahnutých CVD SiC v Číne. Máme pokročilé možnosti povlakovania CVD a môžeme vám poskytnúť prispôsobené produkty povlakovania CVD SiC. VeTek Semiconductor sa teší, že sa stane vaším partnerom vo vykurovacom telese potiahnutom SiC.
Čítaj viacOdoslať dopytVysoko čistý grafitový rotačný susceptor hrá dôležitú úlohu v epitaxnom raste nitridu gália (proces MOCVD). VeTek Semiconductor je popredný výrobca a dodávateľ grafitových rotačných susceptorov v Číne. Vyvinuli sme mnoho vysoko čistých grafitových produktov na báze vysoko čistých grafitových materiálov, ktoré plne spĺňajú požiadavky polovodičového priemyslu. VeTek Semiconductor sa teší, že sa stane vaším partnerom v rotačnom grafitovom susceptore.
Čítaj viacOdoslať dopyt