Silikónový podstavec

Kremíkový susceptor VeTek Semiconductor je produkt z čistého kremíka navrhnutý tak, aby zabezpečil teplotnú stabilitu v trubici tepelného reaktora počas spracovania kremíkového plátku, čím sa zlepšila účinnosť tepelnej izolácie. Spracovanie kremíkovej doštičky je mimoriadne presný proces a rozhodujúcu úlohu zohráva teplota, ktorá priamo ovplyvňuje hrúbku a rovnomernosť kremíkovej doštičky.

Kremíkový podstavec je umiestnený v spodnej časti rúrky tepelného reaktora pece a nesie kremíknosič oblátoka zároveň poskytuje účinnú tepelnú izoláciu. Na konci procesu sa spolu s nosičom kremíkovej doštičky postupne ochladí na teplotu okolia.

Hlavné funkcie a výhody polovodičových kremíkových podstavcov VeTek:

Poskytnite stabilnú podporu na zabezpečenie presnosti procesu

Kremíkový podstavec poskytuje stabilnú a vysoko tepelne odolnú podpornú platformu pre kremíkový čln v komore vysokoteplotnej pece. Táto stabilita môže účinne zabrániť posunutiu alebo nakloneniu silikónovej lode počas spracovania, čím sa zabráni ovplyvneniu rovnomernosti prúdenia vzduchu alebo zničeniu rozloženia teploty, čím sa zabezpečí vysoká presnosť a konzistentnosť procesu.

Zvýšte rovnomernosť teploty v peci a zlepšite kvalitu plátku

Izoláciou kremíkovej nádoby od priameho kontaktu s dnom alebo stenou pece môže kremíková základňa znížiť tepelné straty spôsobené vedením, čím sa dosiahne rovnomernejšie rozloženie teploty v tepelnej reakčnej trubici. Toto rovnomerné tepelné prostredie je nevyhnutné na dosiahnutie rovnomernosti difúzie plátku a vrstvy oxidu, čo výrazne zlepšuje celkovú kvalitu plátku.

Optimalizujte tepelnoizolačný výkon a znížte spotrebu energie

Vynikajúce tepelnoizolačné vlastnosti kremíkového základného materiálu pomáhajú znižovať tepelné straty v komore pece, čím výrazne zlepšujú energetickú účinnosť procesu. Tento efektívny mechanizmus tepelného manažmentu nielen zrýchľuje cyklus ohrevu a chladenia, ale tiež znižuje spotrebu energie a prevádzkové náklady, čím poskytuje ekonomickejšie riešenie pre výrobu polovodičov.

Špecifikácie VeTek Semiconductor Silicon Pedestal

Výrobné dielne VeTek Semiconductor Silicon Pedestal