VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.
Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.
TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:
Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.
●Teplotná stabilita
●Ultra vysoká čistota
●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si
●Odolnosť voči tepelným zásobám
●Silná priľnavosť ku grafitu
●Konformné pokrytie povlakom
● Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)
● Indukčný vykurovací susceptor
● Odporové vykurovacie teleso
● Tepelný štít
Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC | |
Hustota | 14,3 (g/cm³) |
Špecifická emisivita | 0.3 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti | 6.3 10-6/K |
Tvrdosť (HK) | 2000 HK |
Odpor | 1×10-5Ohm*cm |
Tepelná stabilita | <2500 ℃ |
Veľkosť grafitu sa mení | -10~-20um |
Hrúbka povlaku | ≥20um typická hodnota (35um±10um) |
Prvok | Atómové percento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Priemerná | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a líder produktov CVD TaC Coating Crucible v Číne. CVD TaC Coating Crucible je založený na povlaku tantalového uhlíka (TaC). Tantalový uhlíkový povlak je rovnomerne pokrytý na povrchu téglika procesom chemického nanášania pár (CVD), aby sa zvýšila jeho tepelná odolnosť a odolnosť proti korózii. Je to materiálový nástroj špeciálne používaný v extrémnych prostrediach s vysokou teplotou. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier, ako profesionálny výrobca a továreň na nosiče povlakov CVD TaC v Číne, je nástroj na prenášanie plátkov špeciálne navrhnutý pre vysokoteplotné a korozívne prostredie pri výrobe polovodičov. a CVD TaC Coating Wafer Carrier má vysokú mechanickú pevnosť, vynikajúcu odolnosť proti korózii a tepelnú stabilitu, čo poskytuje potrebnú záruku na výrobu vysoko kvalitných polovodičových súčiastok. Vaše ďalšie otázky sú vítané.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor TaC Coating Heater v Číne. Tento produkt má extrémne vysoký bod topenia (asi 3880 °C). Vysoká teplota topenia ohrievača TaC Coating Heater mu umožňuje pracovať pri extrémne vysokých teplotách, najmä pri raste epitaxných vrstiev nitridu gália (GaN) v procese metalorganického chemického nanášania pár (MOCVD). VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a dodávateľ TaC Coated Chuck v Číne je TaC Coating Chuck VeTek Semiconductor špeciálne navrhnutý pre polovodičové pece. Vďaka svojej odolnosti voči vysokej teplote, chemickej inertnosti a vynikajúcemu výkonu poskytuje inovatívna technológia spoločnosti Vetek Semiconductor spoľahlivé riešenie pre priemysel výroby polovodičov na zabezpečenie vysoko kvalitných výrobných štandardov. Veríme, že naše produkty vám môžu priniesť pokročilé technológie a vysokokvalitné produktové riešenia.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a dodávateľ poťahovacích trubíc TaC v Číne je poťahovacia trubica TaC od VeTek Semiconductor kľúčovým komponentom pre úspešný rast monokryštálov karbidu kremíka. Vďaka vysokej teplotnej odolnosti, chemickej inertnosti a vynikajúcemu výkonu zaisťuje výrobu vysoko kvalitných kryštálov s konzistentnými výsledkami. Dôverujte našim inovatívnym riešeniam, aby ste zlepšili proces rastu kryštálov SiC metódou PVT a dosiahli vynikajúce výsledky. Vitajte a kontaktujte nás.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca, inovátor a líder CVD TAC Coating v Číne. Už mnoho rokov sa zameriavame na rôzne produkty CVD TAC Coating, ako je CVD TaC povlak, CVD TaC Coating Ring, nosič CVD TaC Coating atď. VeTek Semiconductor podporuje prispôsobené produktové služby a uspokojivé ceny produktov a teší sa na vaše ďalšie konzultácie.
Čítaj viacOdoslať dopyt