> Produkty > Povlak z karbidu tantalu

Produkty

nové produkty

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobca, dodávateľ, továreň

VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.

Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.

Kľúčové vlastnosti:

Teplotná stabilita

Ultra vysoká čistota

Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si

Odolnosť voči tepelným zásobám

Silná priľnavosť ku grafitu

Konformné pokrytie povlakom

Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)

Aplikácie:

Nosič oblátok

Indukčný vykurovací susceptor

Odporové vykurovacie teleso

Satelitný disk

Sprchová hlavica

Vodiaci krúžok

LED prijímač Epi

Vstrekovacia tryska

Maskovací prsteň

Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita	0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdosť (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení	-10~-20um
Hrúbka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Údaje EDX povlaku TaC：

TaC coating EDX data

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC

Prvok	Atómové percento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Priemerná
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetárny disk s povlakom TaC TaC potiahnutá doska Rotačná doska povlaku TaC Susceptor povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakový krúžok TaC poťahová doska

View as

Náhradný diel na povlak TaC

VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca TaC Coating Plate a iných náhradných dielov TaC Coating v Číne. TaC Coating sa v súčasnosti používa hlavne v procesoch, ako je rast monokryštálov karbidu kremíka (metóda PVT), epitaxiálny disk (vrátane epitaxie karbidu kremíka, LED epitaxie) atď. V kombinácii s dobrou dlhodobou stabilitou TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate sa stal štandardom pre náhradné diely TaC Coating. Tešíme sa, že sa stanete našim dlhodobým partnerom.

Čítaj viac Odoslať dopyt

GaN na SiC epi akceptore

VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca GaN na SiC epi susceptor, CVD SiC povlak a CVD TAC COATING grafitový susceptor v Číne. Spomedzi nich hrá GaN na SiC epi susceptore dôležitú úlohu pri spracovaní polovodičov. Vďaka svojej vynikajúcej tepelnej vodivosti, schopnosti spracovania pri vysokých teplotách a chemickej stabilite zaisťuje vysokú účinnosť a kvalitu materiálu procesu epitaxného rastu GaN. Úprimne sa tešíme na vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viac Odoslať dopyt

CVD TaC povlakový nosič

Nosič CVD TaC Coating spoločnosti VeTek Semiconductor je určený hlavne pre epitaxný proces výroby polovodičov. Extrémne vysoká teplota topenia nosiča CVD TaC, vynikajúca odolnosť proti korózii a vynikajúca tepelná stabilita určujú nevyhnutnosť tohto produktu v polovodičovom epitaxnom procese. Úprimne dúfame, že s vami vybudujeme dlhodobý obchodný vzťah.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Vodiaci krúžok povlaku TaC

Vodiaci krúžok TaC Coating Guide spoločnosti VeTek Semiconductor je vytvorený nanesením povlaku z karbidu tantalu na grafitové časti pomocou vysoko pokročilej techniky nazývanej chemické nanášanie pár (CVD). Táto metóda je osvedčená a ponúka výnimočné vlastnosti povlaku. Použitím vodiaceho krúžku povlaku TaC možno výrazne predĺžiť životnosť grafitových komponentov, potlačiť pohyb grafitových nečistôt a spoľahlivo zachovať kvalitu monokryštálov SiC a AIN. Vitajte a spýtajte sa nás.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Grafitový susceptor potiahnutý TaC

VeTek Semiconductor's TaC Coated Graphite Susceptor využíva metódu chemického nanášania pár (CVD) na prípravu povlaku karbidu tantalu na povrchu grafitových častí. Tento proces je najzrelší a má najlepšie vlastnosti povlaku. Grafitový susceptor potiahnutý TaC môže predĺžiť životnosť grafitových komponentov, zabrániť migrácii grafitových nečistôt a zabezpečiť kvalitu epitaxie. VeTek Semiconductor sa teší na váš dopyt.

Čítaj viac Odoslať dopyt

TaC povlakový susceptor

VeTek Semiconductor predstavuje TaC Coating Susceptor. Vďaka svojmu výnimočnému TaC povlaku ponúka tento susceptor množstvo výhod, ktoré ho odlišujú od konvenčných riešení. Vďaka bezproblémovej integrácii do existujúcich systémov TaC Coating Susceptor od VeTek Semiconductor zaručuje kompatibilitu a efektívnu prevádzku. Jeho spoľahlivý výkon a vysokokvalitný povlak TaC neustále poskytujú výnimočné výsledky v procesoch epitaxie SiC. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Čítaj viac Odoslať dopyt

<1 2 3 4 5...7 >

Ako profesionálny výrobca a dodávateľ Povlak z karbidu tantalu v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré spĺňajú špecifické potreby vášho regiónu, alebo si chcete kúpiť moderné a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číne, môžete nám zanechať správu.