> Produkty > Povlak z karbidu tantalu

Produkty

nové produkty

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobca, dodávateľ, továreň

VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.

Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.

Kľúčové vlastnosti:

Teplotná stabilita

Ultra vysoká čistota

Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si

Odolnosť voči tepelným zásobám

Silná priľnavosť ku grafitu

Konformné pokrytie povlakom

Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)

Aplikácie:

Nosič oblátok

Indukčný vykurovací susceptor

Odporové vykurovacie teleso

Satelitný disk

Sprchová hlavica

Vodiaci krúžok

LED prijímač Epi

Vstrekovacia tryska

Maskovací prsteň

Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita	0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdosť (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení	-10~-20um
Hrúbka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Údaje EDX povlaku TaC：

TaC coating EDX data

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC

Prvok	Atómové percento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Priemerná
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetárny disk s povlakom TaC TaC potiahnutá doska Rotačná doska povlaku TaC Susceptor povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakový krúžok TaC poťahová doska

View as

CVD TaC poťahovací téglik

VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a líder produktov CVD TaC Coating Crucible v Číne. CVD TaC Coating Crucible je založený na povlaku tantalového uhlíka (TaC). Tantalový uhlíkový povlak je rovnomerne pokrytý na povrchu téglika procesom chemického nanášania pár (CVD), aby sa zvýšila jeho tepelná odolnosť a odolnosť proti korózii. Je to materiálový nástroj špeciálne používaný v extrémnych prostrediach s vysokou teplotou. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viac Odoslať dopyt

CVD TaC povlakový nosič plátku

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier, ako profesionálny výrobca a továreň na nosiče povlakov CVD TaC v Číne, je nástroj na prenášanie plátkov špeciálne navrhnutý pre vysokoteplotné a korozívne prostredie pri výrobe polovodičov. Tento výrobok má vysokú mechanickú pevnosť, vynikajúcu odolnosť proti korózii a tepelnú stabilitu, čo poskytuje potrebnú záruku na výrobu vysoko kvalitných polovodičových súčiastok. Vaše ďalšie otázky sú vítané.

Čítaj viac Odoslať dopyt

TaC Coating Heater

VeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor TaC Coating Heater v Číne. Tento produkt má extrémne vysoký bod topenia (asi 3880 °C). Vysoká teplota topenia ohrievača TaC Coating Heater mu umožňuje pracovať pri extrémne vysokých teplotách, najmä pri raste epitaxných vrstiev nitridu gália (GaN) v procese metalorganického chemického nanášania pár (MOCVD). VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Skľučovadlo potiahnuté TaC

Ako profesionálny výrobca a dodávateľ TaC Coated Chuck v Číne je TaC Coating Chuck VeTek Semiconductor špeciálne navrhnutý pre polovodičové pece. Vďaka svojej odolnosti voči vysokej teplote, chemickej inertnosti a vynikajúcemu výkonu poskytuje inovatívna technológia spoločnosti Vetek Semiconductor spoľahlivé riešenie pre priemysel výroby polovodičov na zabezpečenie vysoko kvalitných výrobných štandardov. Veríme, že naše produkty vám môžu priniesť pokročilé technológie a vysokokvalitné produktové riešenia.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Poťahovacia trubica TaC

Ako profesionálny výrobca a dodávateľ poťahovacích trubíc TaC v Číne je poťahovacia trubica TaC od VeTek Semiconductor kľúčovým komponentom pre úspešný rast monokryštálov karbidu kremíka. Vďaka vysokej teplotnej odolnosti, chemickej inertnosti a vynikajúcemu výkonu zaisťuje výrobu vysoko kvalitných kryštálov s konzistentnými výsledkami. Dôverujte našim inovatívnym riešeniam, aby ste zlepšili proces rastu kryštálov SiC metódou PVT a dosiahli vynikajúce výsledky. Vitajte a kontaktujte nás.

Čítaj viac Odoslať dopyt

CVD TAC povlak

VeTek Semiconductor je popredný výrobca, inovátor a líder CVD TAC Coating v Číne. Už mnoho rokov sa zameriavame na rôzne produkty CVD TAC Coating, ako je CVD TaC povlak, CVD TaC Coating Ring, nosič CVD TaC Coating atď. VeTek Semiconductor podporuje prispôsobené produktové služby a uspokojivé ceny produktov a teší sa na vaše ďalšie konzultácie.

Čítaj viac Odoslať dopyt

<1 2 3 4 5...7 >

Ako profesionálny výrobca a dodávateľ Povlak z karbidu tantalu v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré spĺňajú špecifické potreby vášho regiónu, alebo si chcete kúpiť moderné a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číne, môžete nám zanechať správu.