Domov > Produkty > Povlak z karbidu tantalu

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobca, dodávateľ, továreň

VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.


Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.


TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:


Excellent properties of TaC coating graphite


Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.


Kľúčové vlastnosti:

 ●Teplotná stabilita

 ●Ultra vysoká čistota

 ●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si

 ●Odolnosť voči tepelným zásobám

 ●Silná priľnavosť ku grafitu

 ●Konformné pokrytie povlakom

 Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)


Aplikácie:

 ●Nosič oblátok

 ● Indukčný vykurovací susceptor

 ● Odporové vykurovacie teleso

 ●Satelitný disk

 ●Sprchová hlavica

 ●Vodiaci krúžok

 ●LED prijímač Epi

 ●Vstrekovacia tryska

 ●Maskovací prsteň

 ● Tepelný štít


Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota 14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita 0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti 6.3 10-6/K
Tvrdosť (HK) 2000 HK
Odpor 1×10-5Ohm*cm
Tepelná stabilita <2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení -10~-20um
Hrúbka povlaku ≥20um typická hodnota (35um±10um)


Údaje o EDX povlaku TaC

EDX data of TaC coating


Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

Prvok Atómové percento
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Priemerná
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Prsteň potiahnutý karbidom tantalu

Prsteň potiahnutý karbidom tantalu

Ako profesionálny inovátor a líder produktov s povlakom karbidu tantalu v Číne hrá polovodičový prstenec s povlakom karbidu tantalu nenahraditeľnú úlohu pri raste kryštálov SiC vďaka svojej vynikajúcej odolnosti voči vysokým teplotám, odolnosti proti opotrebovaniu a vynikajúcej tepelnej vodivosti. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Porézny karbid tantalu

Porézny karbid tantalu

VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a líder produktov z porézneho karbidu tantalu v Číne. Porézny karbid tantalu sa zvyčajne vyrába metódou chemickej depozície z pár (CVD), ktorá zaisťuje presnú kontrolu veľkosti pórov a distribúcie, a je to materiálový nástroj určený pre extrémne vysoké teploty. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Prsteň z karbidu tantalu

Prsteň z karbidu tantalu

Ako pokročilý výrobca a výrobca produktov z karbidu tantalu v Číne má VeTek Semiconductor karbidu tantalu extrémne vysokú tvrdosť, odolnosť proti opotrebeniu, odolnosť voči vysokej teplote a chemickú stabilitu a je široko používaný v oblasti výroby polovodičov. Najmä v oblasti CVD, PVD, iónovej implantácie, leptania a spracovania a prepravy plátkov je nepostrádateľným produktom pre spracovanie a výrobu polovodičov. Tešíme sa na vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Podpora povlaku z karbidu tantalu

Podpora povlaku z karbidu tantalu

Ako profesionálny výrobca a továreň na nanášanie povlaku z karbidu tantalu v Číne sa VeTek Semiconductor na povlak karbidu tantalu zvyčajne používa na povrchové nátery konštrukčných komponentov alebo podporných komponentov v polovodičových zariadeniach, najmä na ochranu povrchu kľúčových komponentov zariadení v procesoch výroby polovodičov, ako napr. CVD a PVD. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Vodiaci krúžok z karbidu tantalu

Vodiaci krúžok z karbidu tantalu

VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a líder produktov vodiacich krúžkov z karbidu tantalu v Číne. Náš vodiaci krúžok z karbidu tantalu (TaC) je vysoko výkonný krúžok vyrobený z karbidu tantalu, ktorý sa bežne používa v zariadeniach na spracovanie polovodičov, najmä vo vysokoteplotných a vysoko korozívnych prostrediach, ako je CVD, PVD, leptanie a difúzia. VeTek Semiconductor je odhodlaný poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel a víta vaše ďalšie otázky.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Rotačný susceptor povlaku TaC

Rotačný susceptor povlaku TaC

Ako profesionálny výrobca, inovátor a líder produktov TaC Coating Rotation Susceptor v Číne. Rotačný susceptor VeTek Semiconductor TaC Coating sa zvyčajne inštaluje v zariadení na chemické vylučovanie z plynnej fázy (CVD) a epitaxiu molekulárnym lúčom (MBE) na podporu a otáčanie plátkov, aby sa zabezpečilo rovnomerné ukladanie materiálu a efektívna reakcia. Je to kľúčový komponent pri spracovaní polovodičov. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.

Čítaj viacOdoslať dopyt
Ako profesionálny výrobca a dodávateľ Povlak z karbidu tantalu v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré spĺňajú špecifické potreby vášho regiónu, alebo si chcete kúpiť moderné a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číne, môžete nám zanechať správu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept