VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.
Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.
TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:
Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.
●Teplotná stabilita
●Ultra vysoká čistota
●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si
●Odolnosť voči tepelným zásobám
●Silná priľnavosť ku grafitu
●Konformné pokrytie povlakom
● Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)
● Indukčný vykurovací susceptor
● Odporové vykurovacie teleso
● Tepelný štít
Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC | |
Hustota | 14,3 (g/cm³) |
Špecifická emisivita | 0.3 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti | 6.3 10-6/K |
Tvrdosť (HK) | 2000 HK |
Odpor | 1×10-5Ohm*cm |
Tepelná stabilita | <2500 ℃ |
Veľkosť grafitu sa mení | -10~-20um |
Hrúbka povlaku | ≥20um typická hodnota (35um±10um) |
Prvok | Atómové percento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Priemerná | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Ako profesionálny inovátor a líder produktov s povlakom karbidu tantalu v Číne hrá polovodičový prstenec s povlakom karbidu tantalu nenahraditeľnú úlohu pri raste kryštálov SiC vďaka svojej vynikajúcej odolnosti voči vysokým teplotám, odolnosti proti opotrebovaniu a vynikajúcej tepelnej vodivosti. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a líder produktov z porézneho karbidu tantalu v Číne. Porézny karbid tantalu sa zvyčajne vyrába metódou chemickej depozície z pár (CVD), ktorá zaisťuje presnú kontrolu veľkosti pórov a distribúcie, a je to materiálový nástroj určený pre extrémne vysoké teploty. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopytAko pokročilý výrobca a výrobca produktov z karbidu tantalu v Číne má VeTek Semiconductor karbidu tantalu extrémne vysokú tvrdosť, odolnosť proti opotrebeniu, odolnosť voči vysokej teplote a chemickú stabilitu a je široko používaný v oblasti výroby polovodičov. Najmä v oblasti CVD, PVD, iónovej implantácie, leptania a spracovania a prepravy plátkov je nepostrádateľným produktom pre spracovanie a výrobu polovodičov. Tešíme sa na vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca a továreň na nanášanie povlaku z karbidu tantalu v Číne sa VeTek Semiconductor na povlak karbidu tantalu zvyčajne používa na povrchové nátery konštrukčných komponentov alebo podporných komponentov v polovodičových zariadeniach, najmä na ochranu povrchu kľúčových komponentov zariadení v procesoch výroby polovodičov, ako napr. CVD a PVD. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a líder produktov vodiacich krúžkov z karbidu tantalu v Číne. Náš vodiaci krúžok z karbidu tantalu (TaC) je vysoko výkonný krúžok vyrobený z karbidu tantalu, ktorý sa bežne používa v zariadeniach na spracovanie polovodičov, najmä vo vysokoteplotných a vysoko korozívnych prostrediach, ako je CVD, PVD, leptanie a difúzia. VeTek Semiconductor je odhodlaný poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel a víta vaše ďalšie otázky.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálny výrobca, inovátor a líder produktov TaC Coating Rotation Susceptor v Číne. Rotačný susceptor VeTek Semiconductor TaC Coating sa zvyčajne inštaluje v zariadení na chemické vylučovanie z plynnej fázy (CVD) a epitaxiu molekulárnym lúčom (MBE) na podporu a otáčanie plátkov, aby sa zabezpečilo rovnomerné ukladanie materiálu a efektívna reakcia. Je to kľúčový komponent pri spracovaní polovodičov. Vítam vašu ďalšiu konzultáciu.
Čítaj viacOdoslať dopyt