> Produkty > Povlak z karbidu tantalu

Produkty

nové produkty

Čína Povlak z karbidu tantalu výrobca, dodávateľ, továreň

VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.

Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.

Kľúčové vlastnosti:

Teplotná stabilita

Ultra vysoká čistota

Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si

Odolnosť voči tepelným zásobám

Silná priľnavosť ku grafitu

Konformné pokrytie povlakom

Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)

Aplikácie:

Nosič oblátok

Indukčný vykurovací susceptor

Odporové vykurovacie teleso

Satelitný disk

Sprchová hlavica

Vodiaci krúžok

LED prijímač Epi

Vstrekovacia tryska

Maskovací prsteň

Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita	0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdosť (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení	-10~-20um
Hrúbka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Údaje EDX povlaku TaC：

TaC coating EDX data

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC

Prvok	Atómové percento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Priemerná
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetárny disk s povlakom TaC TaC potiahnutá doska Rotačná doska povlaku TaC Susceptor povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakový krúžok TaC poťahová doska

View as

Rotačná doska povlaku TaC

Rotačná doska TaC Coating od VeTek Semiconductor sa môže pochváliť vynikajúcim povlakom TaC. Vďaka svojmu výnimočnému povlaku TaC sa rotačná doska TaC Coating môže pochváliť pozoruhodnou odolnosťou voči vysokým teplotám a chemickou inertnosťou, čo ju odlišuje od tradičných riešení. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budete vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Čítaj viac Odoslať dopyt

TaC poťahová doska

TaC Coating Plate od VeTek Semiconductor je pozoruhodný produkt, ktorý ponúka výnimočné vlastnosti a výhody. Naša poťahová doska TaC, navrhnutá s presnosťou a skonštruovaná k dokonalosti, je špeciálne prispôsobená pre rôzne aplikácie v procesoch rastu monokryštálov karbidu kremíka (SiC). Presné rozmery a robustná konštrukcia poťahovej dosky TaC uľahčujú integráciu do existujúcich systémov a zaisťujú bezproblémovú kompatibilitu a efektívnu prevádzku. Jeho spoľahlivý výkon a vysokokvalitný povlak prispievajú ku konzistentným a jednotným výsledkom v aplikáciách rastu kryštálov SiC. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Kryt CVD TaC

Kryt CVD TaC od spoločnosti VeTek Semiconductor je vysoko špecializovaný komponent navrhnutý špeciálne pre náročné aplikácie. Vďaka svojim pokročilým funkciám a výnimočnému výkonu ponúka náš povlak CVD TaC kryt niekoľko kľúčových výhod. Náš povlak CVD TaC poskytuje potrebnú ochranu a výkon potrebný pre úspech. Tešíme sa na preskúmanie potenciálnej spolupráce s vami!

Čítaj viac Odoslať dopyt

Planetárny susceptor povlaku TaC

Planetárny susceptor VeTek Semiconductor'TaC Coating je výnimočný produkt pre epitaxné zariadenia Aixtron. Robustný povlak TaC poskytuje vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a chemickú inertnosť. Táto jedinečná kombinácia zaisťuje spoľahlivý výkon a dlhú životnosť aj v náročnom prostredí. VeTek sa zaviazal poskytovať vysokokvalitné produkty a slúžiť ako dlhodobý partner na čínskom trhu s konkurenčnými cenami.

Čítaj viac Odoslať dopyt

Podperná doska podstavca s povlakom TaC

VeTek Semiconductor's TaC Coating Pedestal Support Plate je vysoko presný produkt navrhnutý tak, aby spĺňal špecifické požiadavky procesov epitaxie polovodičov. Vďaka povlaku TaC, odolnosti voči vysokej teplote a chemickej inertnosti vám náš produkt umožňuje vyrábať vysokokvalitné vrstvy EPI s vysokou kvalitou. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Čítaj viac Odoslať dopyt

TaC Coating Chuck

TaC Coating Chuck od VeTek Semiconductor je vybavený vysokokvalitným povlakom TaC, známym pre svoju vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a chemickú inertnosť, najmä v procesoch epitaxie (EPI) karbidu kremíka (SiC). Vďaka svojim výnimočným vlastnostiam a vynikajúcemu výkonu ponúka naše skľučovadlo TaC Coating Chuck niekoľko kľúčových výhod. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Čítaj viac Odoslať dopyt

<...2 3 4 5 6...7 >

Ako profesionálny výrobca a dodávateľ Povlak z karbidu tantalu v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré spĺňajú špecifické potreby vášho regiónu, alebo si chcete kúpiť moderné a odolné Povlak z karbidu tantalu vyrobené v Číne, môžete nám zanechať správu.