VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.
Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.
TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:
Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.
●Teplotná stabilita
●Ultra vysoká čistota
●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si
●Odolnosť voči tepelným zásobám
●Silná priľnavosť ku grafitu
●Konformné pokrytie povlakom
● Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)
● Indukčný vykurovací susceptor
● Odporové vykurovacie teleso
● Tepelný štít
Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC | |
Hustota | 14,3 (g/cm³) |
Špecifická emisivita | 0.3 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti | 6.3 10-6/K |
Tvrdosť (HK) | 2000 HK |
Odpor | 1×10-5Ohm*cm |
Tepelná stabilita | <2500 ℃ |
Veľkosť grafitu sa mení | -10~-20um |
Hrúbka povlaku | ≥20um typická hodnota (35um±10um) |
Prvok | Atómové percento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Priemerná | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor je popredná trubica potiahnutá karbidom tantalu pre výrobcu a inovátora Crystal Growth v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na keramické povlaky. Naše produkty majú vysokú čistotu a odolnosť voči vysokej teplote. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je rozsiahly krúžok s povlakom TaC pre výrobcu a inovátora SiC epitaxného reaktora v Číne. Na povlakovanie TaC sa špecializujeme už mnoho rokov. Naše výrobky majú vysokú čistotu, vysokú stabilitu, vynikajúcu odolnosť proti korózii, vysokú pevnosť spoja. vpred, aby ste sa stali vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je rozsiahly diel Halfmoon s povlakom z karbidu tantalu pre výrobcu LPE a inovátora v Číne. Na povlakovanie TaC sa špecializujeme už mnoho rokov. Naše produkty vydržia teploty nad 2000 stupňov Celzia, predĺžia životnosť spotrebného materiálu. Tešíme sa stať sa vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom vodiacich krúžkov s povlakom TaC v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na keramické povlaky. Vodiace krúžky s povlakom TaC sa primárne používajú na vedenie a riadenie prúdenia vzduchu, čím sa zvyšuje výťažnosť rastu monokryštálov. Vitajte a požiadajte nás o ďalšie informácie.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor planetárnych rotačných diskov s povlakom z karbidu tantalu v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na keramické povlaky. Naše produkty majú vysokú čistotu a odolnosť voči vysokej teplote. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Čína.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom nosičov grafitových doštičiek s povlakom TaC v Číne. Mnoho rokov sa špecializujeme na povlaky SiC a TaC. Náš nosič grafitových plátkov s povlakom TaC má vyššiu tepelnú odolnosť a odolnosť proti opotrebovaniu. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt