VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.
Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.
TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:
Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.
Teplotná stabilita
Ultra vysoká čistota
Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si
Odolnosť voči tepelným zásobám
Silná priľnavosť ku grafitu
Konformné pokrytie povlakom
Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)
Nosič oblátok
Indukčný vykurovací susceptor
Odporové vykurovacie teleso
Satelitný disk
Sprchová hlavica
Vodiaci krúžok
LED prijímač Epi
Vstrekovacia tryska
Maskovací prsteň
Tepelný štít
Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC | |
Hustota | 14,3 (g/cm³) |
Špecifická emisivita | 0.3 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti | 6.3 10-6/K |
Tvrdosť (HK) | 2000 HK |
Odpor | 1×10-5Ohm*cm |
Tepelná stabilita | <2500 ℃ |
Veľkosť grafitu sa mení | -10~-20um |
Hrúbka povlaku | ≥20um typická hodnota (35um±10um) |
Prvok | Atómové percento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Priemerná | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Povlakový krúžok CVD TaC spoločnosti VeTek Semiconductor je veľmi výhodný komponent navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky procesov rastu kryštálov karbidu kremíka (SiC). CVD TaC Coating Ring poskytuje vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a chemickú inertnosť, vďaka čomu je ideálnou voľbou pre prostredia charakterizované zvýšenými teplotami a korozívnymi podmienkami. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytLPE SiC Epi Halfmoon od VeTek Semiconductor, revolučný produkt navrhnutý na zlepšenie procesov epitaxie SiC reaktora LPE. Toto špičkové riešenie sa môže pochváliť niekoľkými kľúčovými funkciami, ktoré zaisťujú vynikajúci výkon a efektivitu počas vašich výrobných operácií. Tešíme sa na nadviazanie dlhodobej spolupráce s vami.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným dodávateľom povlakov TaC a grafitových dielov s povlakom SiC. Špecializujeme sa na výrobu špičkových LED EPI susceptorov, ktoré sú nevyhnutné pre procesy LED epitaxie. So silným zameraním na inovácie a kvalitu ponúkame spoľahlivé riešenia, ktoré spĺňajú prísne požiadavky priemyslu LED. Kontaktujte nás ešte dnes, aby ste prediskutovali svoje otázky a zistili, ako môžu naše produkty zlepšiť vaše výrobné procesy.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je komplexným dodávateľom zaoberajúcim sa výskumom, vývojom, výrobou, dizajnom a predajom povlakov TaC a dielov povlakov SiC. Naša odbornosť spočíva vo výrobe najmodernejších MOCVD susceptorov s povlakom TaC, ktoré zohrávajú dôležitú úlohu v procese epitaxie LED. Vítame vás, aby ste s nami prediskutovali otázky a ďalšie informácie.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je integrovaný dodávateľ zaoberajúci sa výskumom a vývojom, výrobou, dizajnom a predajom povlakov TaC. Špecializujeme sa na výrobu TaC potiahnutých UV LED susceptorov na rezanie hrán, ktoré sú kľúčovými komponentmi v procese epitaxie LED. Náš Hlboký UV LED Susceptor s povlakom TaC ponúka vysokú tepelnú vodivosť, vysokú mechanickú pevnosť, vylepšenú efektivitu výroby a epitaxnú ochranu plátku. Vitajte a spýtajte sa nás.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľom v Číne pre Tantal Carbide TaC Coated Halfmoon, špecializujeme sa na výskum, vývoj a výrobu, dokážeme dobre kontrolovať kvalitu a ponúknuť konkurencieschopnú cenu. Ste vítaní na návšteve našej továrne na ďalšiu diskusiu o dlhodobej spolupráci.
Čítaj viacOdoslať dopyt