VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.
Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.
TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:
Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.
Teplotná stabilita
Ultra vysoká čistota
Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si
Odolnosť voči tepelným zásobám
Silná priľnavosť ku grafitu
Konformné pokrytie povlakom
Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)
Nosič oblátok
Indukčný vykurovací susceptor
Odporové vykurovacie teleso
Satelitný disk
Sprchová hlavica
Vodiaci krúžok
LED prijímač Epi
Vstrekovacia tryska
Maskovací prsteň
Tepelný štít
Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC | |
Hustota | 14,3 (g/cm³) |
Špecifická emisivita | 0.3 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti | 6.3 10-6/K |
Tvrdosť (HK) | 2000 HK |
Odpor | 1×10-5Ohm*cm |
Tepelná stabilita | <2500 ℃ |
Veľkosť grafitu sa mení | -10~-20um |
Hrúbka povlaku | ≥20um typická hodnota (35um±10um) |
Prvok | Atómové percento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Priemerná | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor krúžkov s tromi okvetnými lístkami s povlakom TaC v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlaky TaC a SiC. Naše výrobky majú odolnosť proti korózii, vysokú pevnosť. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor skľučovadla s povlakom z karbidu tantalu v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlakovanie TaC. Naše produkty majú vysokú čistotu a odolnosť voči vysokej teplote až do 2000 ℃. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom krytov s povlakom z karbidu tantalu v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlaky TaC a SiC. Naše výrobky majú odolnosť proti korózii, vysokú pevnosť. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytPorézny grafit s povlakom TaC je pokročilý materiál na spracovanie polovodičov od spoločnosti VeTek Semiconductor. Porézny grafit s povlakom TaC kombinuje výhody povlaku porézneho grafitu a karbidu tantalu (TaC) s dobrou tepelnou vodivosťou a priepustnosťou pre plyny. VeTek Semiconductor je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom povlaku z karbidu tantalu v Číne. Zameriavame sa na poskytovanie vysoko čistých produktov z karbidu tantalu odolných voči vysokým teplotám. Náš kryt potiahnutý karbidom tantalu má vynikajúci výkon a spoľahlivosť a môže účinne chrániť materiály v extrémne vysokých teplotách a korozívnych prostrediach. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytDeflektorový krúžok potiahnutý TaC od VeTek Semiconductor je vysoko špecializovaný komponent navrhnutý pre procesy rastu kryštálov SiC. Povlak TaC poskytuje vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a chemickú inertnosť, aby sa vyrovnal s vysokými teplotami a korozívnym prostredím počas procesu rastu kryštálov. To zaisťuje stabilný výkon a dlhú životnosť komponentu, čím sa znižuje frekvencia výmeny a prestoje. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt