VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.
Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.
TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:
Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.
●Teplotná stabilita
●Ultra vysoká čistota
●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si
●Odolnosť voči tepelným zásobám
●Silná priľnavosť ku grafitu
●Konformné pokrytie povlakom
● Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)
● Indukčný vykurovací susceptor
● Odporové vykurovacie teleso
● Tepelný štít
Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC | |
Hustota | 14,3 (g/cm³) |
Špecifická emisivita | 0.3 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti | 6.3 10-6/K |
Tvrdosť (HK) | 2000 HK |
Odpor | 1×10-5Ohm*cm |
Tepelná stabilita | <2500 ℃ |
Veľkosť grafitu sa mení | -10~-20um |
Hrúbka povlaku | ≥20um typická hodnota (35um±10um) |
Prvok | Atómové percento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Priemerná | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor krúžkov s tromi okvetnými lístkami s povlakom TaC v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlaky TaC a SiC. Naše výrobky majú odolnosť proti korózii, vysokú pevnosť. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor skľučovadla s povlakom z karbidu tantalu v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlakovanie TaC. Naše produkty majú vysokú čistotu a odolnosť voči vysokej teplote až do 2000 ℃. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom krytov s povlakom z karbidu tantalu v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlaky TaC a SiC. Naše výrobky majú odolnosť proti korózii, vysokú pevnosť. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytPorézny grafit s povlakom TaC je pokročilý materiál na spracovanie polovodičov od spoločnosti VeTek Semiconductor. Porézny grafit s povlakom TaC spája výhody povlaku porézneho grafitu a karbidu tantalu (TaC) s dobrou tepelnou vodivosťou a priepustnosťou pre plyny. VeTek Semiconductor je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom povlaku z karbidu tantalu v Číne. Zameriavame sa na poskytovanie vysoko čistých produktov z karbidu tantalu odolných voči vysokým teplotám. Náš kryt potiahnutý karbidom tantalu má vynikajúci výkon a spoľahlivosť a môže účinne chrániť materiály v extrémne vysokých teplotách a korozívnych prostrediach. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytDeflektorový krúžok potiahnutý TaC od VeTek Semiconductor je vysoko špecializovaný komponent navrhnutý pre procesy rastu kryštálov SiC. Povlak TaC poskytuje vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a chemickú inertnosť, aby sa vyrovnal s vysokými teplotami a korozívnym prostredím počas procesu rastu kryštálov. To zaisťuje stabilný výkon a dlhú životnosť komponentu, čím sa znižuje frekvencia výmeny a prestoje. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt