VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.
Hlavnými produktmi súDefektný krúžok s povlakom karbidu tantalu, odvádzací krúžok s povlakom TaC, časti polmesiaca s povlakom TaC, planetárny rotačný disk s povlakom karbidu tantalu (Aixtron G10), téglik s povlakom TaC; krúžky potiahnuté TaC; porézny grafit potiahnutý TaC; Tantal Carbide Coating Graphite Susceptor; Vodiaci krúžok potiahnutý TaC; TaC doska potiahnutá karbidom tantalu; Susceptor plátku potiahnutý TaC; TaC povlakový krúžok; TaC povlak grafitový kryt; TaC Coated Chunkatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.
TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:
Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.
Teplotná stabilita
Ultra vysoká čistota
Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si
Odolnosť voči tepelným zásobám
Silná priľnavosť ku grafitu
Konformné pokrytie povlakom
Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)
Nosič oblátok
Indukčný vykurovací susceptor
Odporové vykurovacie teleso
Satelitný disk
Sprchová hlavica
Vodiaci krúžok
LED prijímač Epi
Vstrekovacia tryska
Maskovací prsteň
Tepelný štít
Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC | |
Hustota | 14,3 (g/cm³) |
Špecifická emisivita | 0.3 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti | 6.3 10-6/K |
Tvrdosť (HK) | 2000 HK |
Odpor | 1×10-5Ohm*cm |
Tepelná stabilita | <2500 ℃ |
Veľkosť grafitu sa mení | -10~-20um |
Hrúbka povlaku | ≥20um typická hodnota (35um±10um) |
Prvok | Atómové percento | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Priemerná | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor je popredná trubica potiahnutá karbidom tantalu pre výrobcu a inovátora Crystal Growth v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na keramické povlaky. Naše produkty majú vysokú čistotu a odolnosť voči vysokej teplote. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je rozsiahly krúžok s povlakom TaC pre výrobcu a inovátora SiC epitaxného reaktora v Číne. Na povlakovanie TaC sa špecializujeme už mnoho rokov. Naše výrobky majú vysokú čistotu, vysokú stabilitu, vynikajúcu odolnosť proti korózii, vysokú pevnosť spoja. vpred, aby ste sa stali vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je rozsiahly diel Halfmoon s povlakom z karbidu tantalu pre výrobcu LPE a inovátora v Číne. Na povlakovanie TaC sa špecializujeme už mnoho rokov. Naše produkty vydržia teploty nad 2000 stupňov Celzia, predĺžia životnosť spotrebného materiálu. Tešíme sa stať sa vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom vodiacich krúžkov s povlakom TaC v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na keramické povlaky. Vodiace krúžky s povlakom TaC sa primárne používajú na vedenie a riadenie prúdenia vzduchu, čím sa zvyšuje výťažnosť rastu monokryštálov. Vitajte a požiadajte nás o ďalšie informácie.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor planetárnych rotačných diskov s povlakom z karbidu tantalu v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na keramické povlaky. Naše produkty majú vysokú čistotu a odolnosť voči vysokej teplote. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Čína.
Čítaj viacOdoslať dopytVeTek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom nosičov grafitových doštičiek s povlakom TaC v Číne. Mnoho rokov sa špecializujeme na povlaky SiC a TaC. Náš nosič grafitových plátkov s povlakom TaC má vyššiu tepelnú odolnosť a odolnosť proti opotrebovaniu. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt